AU系列培训-12-AU5800进样器检查与调整
目录
1 进样器布局
2 CA01轨道单元
3 CB01×2架载入单元
4 CC01条码识别单元
5 CD01/11XY传送单元
6 CE01/11通过分配单元
7 CF01架卸载传送单元
8 CG01架卸载单元
9 CL01架回收传送单元
10 CH01/11/CJ01/CK01单元
11 CM01/11 ISE架传送单元
12 CN01流水线架送入/CP01架送出单元

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