处理方法:(1)钛泵:看钛泵电源3910V是否已加上,如果有高压表可在线路中直接测量该电压,若没有高压表,可在线路中串联10个1 k电阻,测每个电阻压降为391 V,经测量钛泵电源正常。(2)加速管:首先将钛泵除掉,观察表头真空度,发现除掉钛泵后真空度回到零位,再将钛泵装上后真空度又偏高。这初步判断加速管已漏气,为进一步判断,将电流表串联在线路中,发现电流为几十微安,正常最大应为几个微安,这进一步说明加速管已坏。将加速管换上新的后真空度已降至接近零,机器正常。
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拆下钛泵高压线就可以判断了,拆下后电流到零,即表明钛泵电流大,查接头无漏电即可以判断加速管有问题! |