[求助]AU400 3144 no vacuum pressure

宁夏侯瑞 · 发表于 2013-11-22 12:20

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AU400光电校准时，报杯子全红色，于是换灯泡。反应杯都拿出来，用镜头纸擦了一遍，安装回去。考虑清洗站针有没有堵塞情况，挨个拔掉，用去离子水冲了一下。观察没有堵塞之后，重新安装好。再启动机器做光电校准时，报错代码是3144 no vacuum pressure。请教诸位大大，这个大概应该怎么处理一下？另，早晨第一次做光电校准时还没出现这个报错。多谢，在线等。

郑振寰 · 发表于 2013-11-22 12:59

肯定管子掉了或者废液瓶的盖子没盖严。

宁夏侯瑞 · 发表于 2013-11-22 13:20

我再检查看看。

宁夏侯瑞 · 发表于 2013-11-22 13:53

连接清洗站的管子我都检查过正常，废液罐也是连接到清洗站的那几个长有机玻璃的罐子吧？我检查了下，密封良好。

会不会是阀的问题？每次做W2都可以走几个杯子，然后会报这个错，听到有阀工作，然后排气的声音。机器背面下方有四个并排一样的阀，是连接废液罐的阀吗？需要处理这几个阀吗？多谢了。

郑振寰 · 发表于 2013-11-22 14:14

你还是想想你都动了哪些，就查这些地方。冲洗站连接的几个瓶子，密封圈丢了或者没拧紧就是这样。

广东陈威 · 发表于 2016-8-23 14:44

都动了哪些地方，重点检查

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